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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述薄膜生長(zhǎng)的三個(gè)階段。
答案：
（1）晶核形成
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進(jìn)一步生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。
（2）凝聚成束
形成...
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進(jìn)一步生長(zhǎng)的基礎(chǔ)。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是薄膜？例舉并描述可接受的薄膜的8個(gè)特性。
答案：
薄膜：指某一維尺寸遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
好的臺(tái)階覆蓋能力、高的深寬比填隙能力（>3：1）
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】立式爐系統(tǒng)的五部分是什么？例舉并簡(jiǎn)單描述？
答案：
工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)
工藝腔是對(duì)硅片加熱的場(chǎng)所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...
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