定期應(yīng)該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。