A.通過電鑄從光刻膠三維結(jié)構(gòu)上產(chǎn)生金屬母模
B.用光刻的方法在光刻膠上刻出微機(jī)械或微器件的三維結(jié)構(gòu)
C.用生產(chǎn)用模作大規(guī)模復(fù)制
D.用母模通過電鑄或塑鑄方法復(fù)制許多金屬的或其它材料的生產(chǎn)用模
A.過程建模技術(shù)
B.過程管理技術(shù)
C.數(shù)據(jù)庫技術(shù)
D.過程評估技術(shù)
A.反射鏡
B.透鏡
C.激光束
D.工件系統(tǒng)