A.激光器 B.光學(xué)系統(tǒng) C.機(jī)械系統(tǒng) D.控制系統(tǒng) E.加溫系統(tǒng)
A.加工參數(shù) B.加工環(huán)境 C.加工溫度 D.加工時(shí)間 E.加工質(zhì)量
A.超精密加工機(jī)理與工藝方法 B.超精密加工機(jī)床設(shè)備 C.超精密加工工具 D.測(cè)量補(bǔ)償 E.誤差補(bǔ)償