當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。