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雙摻雜技術(shù)
答案:
同時(shí)引入兩種原子半徑不同的雜質(zhì)原子,使他們產(chǎn)生的應(yīng)變正好相反。應(yīng)力得到補(bǔ)償,減少或避免晶格畸變,消除失配位錯(cuò)-應(yīng)力補(bǔ)償法...
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外延層的夾層
答案:
外延層和襯底界面附近出現(xiàn)的高阻層或反型層。
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名詞解釋
自摻雜
答案:
雜質(zhì)從襯底及基座中蒸發(fā)出來進(jìn)入氣相中繼而再次摻入外延層中,也包括由于襯底基座被腐蝕而進(jìn)入氣相中進(jìn)而摻入外延層中。
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