A、真空 B、內(nèi)循環(huán)水位 C、P10氣體流量 D、外循環(huán)水流量小于1L、內(nèi)循環(huán)水流量小于2L。
A、Spectrometer status screen B、Spectrometer status box C、Spectrometer maintenance D、System compounds
A、Turret timeout(轉(zhuǎn)盤超時) B、Failed to connect spectrometer(光譜儀連機失敗) C、Cabinet temperature too low(機箱溫度太高) D、Bad vacuum above warning level(真空超警戒水平)