問答題

【簡答題】Top metal和inter metal的厚度，線寬有何不同?

答案： Top metal通常要比inter metal厚得多，0.18um工藝中inter me...

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【簡答題】為何各金屬層之間的連接大多都是采用CVD的W-plug（鎢插塞）？

答案：

① 因為W有較低的電阻；
② W有較佳的step coverage（階梯覆蓋能力）。

【簡答題】Glue layer（粘合層）的沉積所處的位置、成分、薄膜沉積方法是什么？

答案：因為W較難附著在Salicide上,所以必須先沉積只Glue layer再沉積W Glue layer是為了增強粘合性而...

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