問答題

【簡答題】自摻雜效應與互擴散效應

答案：左圖：自摻雜效應是指高溫外延時，高摻雜襯底的雜質反擴散進入氣相邊界層，又從邊界層擴散摻入外延層的現(xiàn)象。自摻雜效應是氣相外...

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晶圓；硅和鍺

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