問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是溝道效應(yīng)？抑制方法？

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答案：擴(kuò)散是微電子工藝中最基本的工藝之一，是在約1000℃的高溫、p型或n型雜質(zhì)氣氛中，使雜質(zhì)向襯底硅片的確定區(qū)域內(nèi)擴(kuò)散，達(dá)到...

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