問答題

【簡答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過程有哪些？

答案：

準(zhǔn)備→抽真空→預(yù)蒸→蒸發(fā)→取片

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【簡答題】氣體直流輝光放電分為哪幾個區(qū)？其中輝光放電區(qū)包括哪幾個區(qū)？濺射區(qū)域選擇在哪個區(qū)？

答案：分為暗流區(qū)，湯生放電區(qū)，輝光放電區(qū)，電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d：前期輝光放電區(qū)
...

【簡答題】APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名稱分別是？

答案：

常壓化學(xué)氣相淀積、低壓化學(xué)氣相淀積、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積和高密度等離子體化學(xué)氣相淀積