問答題

【簡答題】干法刻蝕有哪幾種？相應的內容是什么？

答案：物理性刻蝕、化學性刻蝕和物理化學性刻蝕。
1）物理性刻蝕-濺射刻蝕：等離子體中的離子或高能原子對襯底進行轟擊，...

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【簡答題】什么是干法刻蝕？什么是濕法刻蝕？比較二者的優(yōu)缺點。

答案： 1）干法腐蝕是應用等離子技術的腐蝕方法，刻蝕氣體在反應器中等離子化，與被刻蝕材料反應（或濺射），生成物是氣態(tài)物質，從反應...

【簡答題】光刻的本質是什么？

答案：

光刻就是將掩膜版（光刻版）上的幾何圖形轉移到覆蓋在半導體襯底表面的對光輻照敏感的薄膜材料（光刻膠）上去的工藝過程。