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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光刻工藝的8道工序
答案：
八道工序?yàn)椋壕A清洗、預(yù)烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測(cè)
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出4種曝光技術(shù)，并說(shuō)明那種分辨率最高，說(shuō)明各種曝光技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。
答案：
1、接觸式曝光：分辨率較高，可在亞微米范圍內(nèi)。接觸時(shí)的微粒會(huì)在晶圓上產(chǎn)生缺陷，光刻版的壽命也會(huì)減短。
2、接近...
2、接近...
