問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光刻工藝的8道工序

答案: 八道工序?yàn)椋壕A清洗、預(yù)烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)和曝光、曝光后烘烤,以及顯影、硬烘烤和圖形檢測(cè)
題目列表

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列出4種曝光技術(shù),并說(shuō)明那種分辨率最高,說(shuō)明各種曝光技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案: 1、接觸式曝光:分辨率較高,可在亞微米范圍內(nèi)。接觸時(shí)的微粒會(huì)在晶圓上產(chǎn)生缺陷,光刻版的壽命也會(huì)減短。
2、接近...
問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述顯影工藝的3個(gè)過(guò)程

答案: 顯影、硬烘烤和圖形檢測(cè)
微信掃碼免費(fèi)搜題