假設某項化學氣相淀積工藝受反應速率控制，在700 ℃和800 ℃時的淀積速率分別為500Å/min和2000Å/min，請計算在900℃下的淀積速率是多少？實際測量發(fā)現900℃下淀積速率遠低于計算值，說明什么？怎樣證明？（化學氣相淀積的反應速率常數）

識別如圖所示工藝，寫出每個步驟名稱并進行描述。

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識別并描述每個工藝步驟。

依照如圖，對硅片制造廠的六個分區(qū)分別做一個簡短的描述，要求寫出分區(qū)的主要功能、主要設備以及顯著特點。