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問答題
【簡答題】LIGA技術(shù)
答案：
LIGA技術(shù)是一種由半導(dǎo)體光刻工藝派生出來的采用光刻方法一次生產(chǎn)三維空間微機(jī)械構(gòu)件的方法。技術(shù)機(jī)理是由深層X射線光刻、電...
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問答題
【簡答題】光刻技術(shù)
答案：
光刻加工是用照相復(fù)印的方法將光刻掩膜上的圖像印制在涂有光致抗蝕劑（光刻膠）的薄膜或基材表面，然后進(jìn)行選擇性腐蝕，刻蝕出規(guī)...
問答題
【簡答題】簡述微型機(jī)械加工技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)
答案：
微型機(jī)械加工技術(shù)是微型機(jī)械發(fā)展的關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)，其包括微型機(jī)械設(shè)計(jì)技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、微型機(jī)械組裝和封裝技術(shù)、微系統(tǒng)的表征...
