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精度表示方法不同、加工機(jī)理存在差異、加工特征明顯不同。

造型設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、工程圖生成、有限元分析、優(yōu)化設(shè)計(jì)、模擬仿真虛擬設(shè)計(jì)、工程數(shù)據(jù)庫(kù)等。

計(jì)算機(jī)集成制造、并行工程、敏捷制造、虛擬制造、智能制造、綠色制造、精益生產(chǎn)等。

JIT及時(shí)生產(chǎn)制，GT成組技術(shù)和TQC全面質(zhì)量管理。

光刻加工可分為兩個(gè)加工階段，第一階段為原版制作，生成工作原版或工作掩膜，為光刻加工時(shí)用；第二階段為光刻。