名詞解釋

有限表面源擴(kuò)散

答案: 擴(kuò)散前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì),在整個過程中,這層雜質(zhì)作為擴(kuò)散源,不再有新源補(bǔ)充,雜質(zhì)總量不再變化。這種類型的擴(kuò)散稱為有...
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橫向擴(kuò)散

答案: 由于光刻膠無法承受高溫過程,擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片,它們向各個方向運(yùn)動:假如雜質(zhì)原子沿硅片表...
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射程R

答案:

離子從進(jìn)入靶到停止為止走過的總距離。

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