名詞解釋

答案：擴散是微觀粒子做無規(guī)則熱運動的統(tǒng)計結(jié)果，這種運動總是由粒子濃度較高的地方向濃度低的地方進行，而使得粒子的分布逐漸趨于均勻...

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答案：擴散前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個過程中，這層雜質(zhì)作為擴散源，不再有新源補充，雜質(zhì)總量不再變化。這種類型的擴散稱為有...

答案：由于光刻膠無法承受高溫過程，擴散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴散進入硅片，它們向各個方向運動：假如雜質(zhì)原子沿硅片表...