名詞解釋

濕氧氧化

答案：

氧氣中攜帶一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO2的過程。
題目列表

你可能感興趣的試題

名詞解釋

水汽氧化
答案：

高溫下，硅片與高純水蒸氣反應(yīng)生成SiO2的過程。
名詞解釋

干氧
答案：

高溫下，氧氣與硅片反應(yīng)生成SiO2的過程。
微信掃碼免費(fèi)搜題