名詞解釋

兩步法擴散

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有限表面源擴散

答案: 如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質,在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質源,不再有新源補充,這種擴散方式稱為有限表面...
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分凝系數(shù)

答案: 對于固相-液相的界面,由于雜質在不同相中的溶解度不一樣,所以雜質在界面兩邊材料中分布的濃度是不同的,這就是所謂雜質的分凝...
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