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答案：

氣相淀積在1個(gè)大氣壓下進(jìn)行。

答案：

一種或數(shù)種物質(zhì)的氣體，以某種方式激活后，在襯底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并淀積出所需固體薄膜的生長(zhǎng)技術(shù)。