名詞解釋

臨界曝光量

答案：

使角膜開(kāi)始溶解所需最小曝光量。

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分辨率R

答案：

是對(duì)光刻工藝可以到達(dá)的最小光刻圓形尺寸的一種描述。

ULSI對(duì)光刻的要求

答案：

高分辨率；高靈敏光刻膠；低缺陷；精密的套刻對(duì)準(zhǔn)。