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填空題描述二階傳感器系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性的微分方程中包括的系統(tǒng)參數(shù)為靜態(tài)靈敏度、（）和（）。

1.填空題根據(jù)對(duì)滑尺繞組供電方式的不同以及對(duì)輸出信號(hào)的檢測(cè)方式不同，感應(yīng)同步器分為（）和（）。

2.填空題霍爾式傳感器是利用（）基于（）原理而將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成電動(dòng)勢(shì)輸出的一種傳感器。

3.填空題光電式轉(zhuǎn)速傳感器是一種角位移傳感器，由裝在被測(cè)軸（）上的（）、（）、光電器件和指示縫隙盤組成。

4.填空題光電式角編碼器按編碼方式可分為（）和（）兩種。

5.填空題硅壓阻式壓力傳感器是利用（）的（）制成的器件。