問答題

【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么？它們是如何形成的？什么是鎢塞。試說明其主要作用。

答案：接觸孔的作用：在金屬和非金屬導(dǎo)體間提供電學(xué)連接；
形成：
1）鈦的淀積
2）退火

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阱區(qū)離子注入；
定義有源區(qū)刻蝕及在絕緣溝槽中填充氧化物；
淀積及形成多晶硅層圖形；...