多項選擇題化學氣相沉積（CVD）按照反應(yīng)氣壓進行分類，可以分為（）。

A.常壓化學氣相沉積
B.低壓化學氣相沉積
C.等離子體增強化學氣相沉積
D.高壓氣相沉積


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1.單項選擇題以下哪項不是化學氣相沉積（CVD）的特點？（）

A.薄膜成分易控
B.溫度高
C.均勻性
D.臺階的覆蓋性好

2.多項選擇題以下哪些是蒸發(fā)沉積的要素？（）

A.真空
B.氧氣
C.加熱
D.溫度較低基片

3.多項選擇題實現(xiàn)應(yīng)變隔離的方法有哪些？（）

A.整體硬化
B.局部硬化
C.整體軟化
D.局部軟化

4.單項選擇題當承受較大載荷時，在（）位置將發(fā)生應(yīng)變失配的情況。

A.柔性襯底內(nèi)部
B.電子元件內(nèi)部
C.柔性襯底和電子元件的界面
D.柔性襯底和電子元件的外表面