多項選擇題

下列屬于OECO電池片結構的特點有（）

A、通過對電池片表面進行機械加工，可以得到深度約有30um的垂直的溝，機械加工后，為了消除損傷，進行了蝕刻，也有再進行紋理化的
B、在電池片表面的n+層上，形成很薄的氧化膜，然后再在與其上面垂直的溝的側面制備鋁電極，
C、因表面電極而引起的發(fā)電面積損失非常小，減反射膜性能好，電極和硅界面狀態(tài)良好，可以得到高的轉換效率
D、為了鈍化和防止反射，用PECVD法形成SiN膜

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