對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

RF 電源適用的設備是（）。

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會關(guān)注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關(guān)鍵技術(shù)為（）。