芯片上所集成的晶體管的數目,每隔18個月翻一番。
雜質總量恒定;雜質分布為高斯函數分布(Gaussian);表面濃度隨著時間下降,結深隨著時間增加。
在平衡條件下,雜質能溶解在硅中而不發(fā)生反應形成分凝相的最大濃度。