單項選擇題

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm

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單項選擇題

堅膜烘焙在加熱平板上進行，溫度控制在（）。

A.100℃～150℃
B.130℃～200℃
C.110～130℃
D.85～120℃

單項選擇題

在顯影過程中，對于正性抗蝕劑，顯影液的使用要求是（）。

A.顯影液可以使用丁酮
B.顯影液可以使用甲苯
C.顯影液可以使用丙酮
D.顯液可以使用甲基異丁基酮和異丙醇的1：1混合液