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問答題
【簡答題】金屬有機物氣相外延生長和一般的氣相外延生長的最大區(qū)別是什么？
答案：
它是一種冷壁工藝，只要將襯底控制到一定溫度就行了
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問答題
【簡答題】什么是鹵素傳遞生長法？它屬于4種生長方法中的哪一種？
答案：
把至少一種外延層組成元素以鹵化物形式通過襯底并發(fā)生鹵素析出反應(yīng)從而形成外延層的過程，它屬于氣相外延生長法。
