問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是刻蝕?

答案:

刻蝕即光刻腐蝕,就是通過(guò)光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過(guò)其他方式實(shí)現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】濕法刻蝕有什么缺點(diǎn)?

答案:

抗蝕劑中的小窗口會(huì)由于毛細(xì)作用而使得接觸孔不能被有效浸潤(rùn)、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是濕法刻蝕?

答案:

濕法刻蝕首先要用含有可以分解表面薄層的反應(yīng)物的溶液浸潤(rùn)刻蝕面;

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