先進(jìn)的雙極晶體管結(jié)構(gòu)的基本特征是什么?
自對準(zhǔn)工藝、多晶硅發(fā)射極技術(shù)和深槽隔離技術(shù)。
因?yàn)檎z在曝光時被光照的光刻膠發(fā)生分解反應(yīng)。
采用多晶硅發(fā)射極結(jié)構(gòu),避免發(fā)射區(qū)離子注入對硅表面的損傷。