先進的雙極晶體管結構的基本特征是什么?
自對準工藝、多晶硅發(fā)射極技術和深槽隔離技術。
因為正膠在曝光時被光照的光刻膠發(fā)生分解反應。
采用多晶硅發(fā)射極結構,避免發(fā)射區(qū)離子注入對硅表面的損傷。