清洗順序:去分子-去離子-去原子-去離子水沖洗-烘干、甩干
被吸附雜質(zhì)的存在狀態(tài):分子型、離子型、原子型
銅作為互連材料,其抗電遷移性能比鋁好,電阻率低,可以減小引線的寬度和厚度,從而減小分布電容。