問答題

【簡答題】SiO₂按結構特點分為哪些類型？熱氧化生長的SiO₂屬于哪一類？

答案：

二氧化硅按結構特點可將其分為結晶形跟非結晶形，熱氧化生長的SiO₂為非結晶態(tài)。

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【簡答題】
CMP（CMP-chemical mechanical polishing）包括哪些過程？

答案：

包括：邊緣拋光：分散應力，減少微裂紋，降低位錯排與滑移線，降低因碰撞而產生碎片的機會。表面拋光：粗拋光，細拋光，精拋光

【簡答題】硅片研磨及清洗后腐蝕的方法有哪些？

答案：

腐蝕方式：噴淋及浸泡