問答題

【簡答題】有哪些損傷類型？

答案：

損傷類型：空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結構損傷。

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【簡答題】什么是溝道效應？

答案：對晶體靶進行離子注入時，當離子注入的方向與靶晶體的某個晶向平行時，其運動軌跡將不再是無規(guī)則的，而是將沿溝道運動并且很少受...

【簡答題】如何降低溝道效應？

答案：減少溝道效應的措施：
（1）對大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...