問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】何謂氧化增強(qiáng)擴(kuò)散，發(fā)散區(qū)推進(jìn)效應(yīng)？產(chǎn)生機(jī)理是什么？

答案： 在熱氧化過(guò)程中原存在硅內(nèi)的某些摻雜原子顯現(xiàn)出更高的擴(kuò)散性，稱為氧化增強(qiáng)擴(kuò)散。機(jī)理：氧化誘生堆垛層錯(cuò)產(chǎn)生大量自填隙Si，間...
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【簡(jiǎn)答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應(yīng)？
答案： 光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...
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【簡(jiǎn)答題】常見的光刻對(duì)準(zhǔn)曝光設(shè)備有？
答案：

接觸式光刻機(jī)；接近式光刻機(jī)；掃描投影光刻機(jī)；分步重復(fù)投影光刻機(jī)；步進(jìn)掃描光刻機(jī)。
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