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問答題

【論述題】簡述硅片表面污染的來源。

答案：硅片表面污染的來源主要有以下幾方面：
（1）有機物沾污：包括切、磨、拋工藝中的潤滑油脂；石蠟、松香等粘合劑；手...

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