單項(xiàng)選擇題減少刻蝕過程中的損傷可以采用（）。

A.低溫刻蝕
B.分步刻蝕
C.優(yōu)化刻蝕氣體
D.以上都是


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1.單項(xiàng)選擇題刻蝕過程中的橫向刻蝕主要影響（）。

A.圖形精度
B.刻蝕速率
C.刻蝕選擇性
D.刻蝕均勻性

2.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的控制系統(tǒng)通常采用（）。

A.單片機(jī)
B.PLC
C.工業(yè)電腦
D.以上均可

3.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕選擇性的方法包括（）。

A.優(yōu)化刻蝕氣體配比
B.控制刻蝕溫度
C.選擇合適的掩膜材料
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題刻蝕過程中的殘余應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致（）。

A.器件變形
B.性能下降
C.壽命縮短
D.以上都是

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的發(fā)展趨勢(shì)是（）。

A.更高精度
B.更高效率
C.更低成本
D.以上都是