填空題

清洗系統(tǒng)裝置分為A和B兩個系列，以A系列為例其功能分為兩個噴絲板槽和4個工件、濾芯專用槽，噴絲板槽對應(yīng)的泵號為（），四組專用槽從西向東分別對應(yīng)的泵號為（），其中51530A泵對應(yīng)的噴絲板槽排污閥在鋼平臺上方，51510A以及四組專用槽的排污閥在鋼平臺（）方，每次開泵前要檢查排污閥是否關(guān)閉。

答案： 51530A、51510A； 51410A、51430A、51450A、51470A； 下
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