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PSA操作中按下復(fù)位鍵,變壓吸附運(yùn)行步驟即回到初始狀態(tài),程序從第一分周期第一步開始運(yùn)行。
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正常生產(chǎn)時,TSA兩臺吸附器同時吸附。
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PSA操作中按下暫停鍵后,程序停止在當(dāng)前步位,各程控閥門保持原有開關(guān)狀態(tài)。
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