單項(xiàng)選擇題CVD中主要進(jìn)行鍍膜的設(shè)備是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber
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1.單項(xiàng)選擇題CVD中為了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）
A.N
B.H
C.Si
D.O
2.單項(xiàng)選擇題CF的本質(zhì)是在Glass上鍍（）
A.液體小分子膜
B.有機(jī)高分子膜
C.金屬膜
D.無極非金屬膜
