單項(xiàng)選擇題微細(xì)加工技術(shù)中的刻蝕工藝可分為下列哪兩種（）。
A.離子束刻蝕、激光刻蝕
B.干法刻蝕、濕法刻蝕
C.濺射加工、直寫加工
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1.單項(xiàng)選擇題在進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)導(dǎo)體的表面形貌時(shí)，常采用的測(cè)量?jī)x器為（）。
A.電鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.圖像處理技術(shù)
2.單項(xiàng)選擇題工業(yè)機(jī)器人有多種分類方式，下列不屬于按驅(qū)動(dòng)方式分類的是（）。
A.氣壓傳動(dòng)機(jī)器人
B.液壓傳動(dòng)機(jī)器人
C.電器傳動(dòng)機(jī)器人
D.智能機(jī)器人
3.單項(xiàng)選擇題工序集中有利于保證各加工表面的（）。
A.尺寸精度
B.形狀精度
C.相互位置精度
D.表面粗糙度
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