問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述旋涂穩(wěn)定的控制。

答案：（1）、盡量少開(kāi)旋涂室的門，控制溫濕度；
（2）、旋涂室的溫度應(yīng)對(duì)外部環(huán)境略高些，基本為30℃。濕度為30%；...

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】如何調(diào)整洗邊？

答案：

①調(diào)整洗邊正角壓力；
②調(diào)整下料閥；
③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段時(shí)間；
⑥檢查Mask。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】中孔不圓如何調(diào)整？

答案：調(diào)整下料桿的長(zhǎng)短，針頭傾斜角度，以及中孔下料位置。