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答案：（1）、盡量少開旋涂室的門，控制溫濕度；
（2）、旋涂室的溫度應(yīng)對外部環(huán)境略高些，基本為30℃。濕度為30%；...

答案：

①調(diào)整洗邊正角壓力；
②調(diào)整下料閥；
③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段時(shí)間；
⑥檢查Mask。