問答題

【簡答題】后段UV燈不亮（雙頭線）如何解決？

答案：關閉QF9，重新初始化。

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【簡答題】濺鍍機抽不上真空怎樣解決？

答案：檢查mask、靶材，清理密封圈及主倉，再檢查預抽泵油位。

【簡答題】濺鍍機短路，怎樣解決？

答案：

（1）檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方，如有，更換mask；
（2）清理靶材邊緣，清理濺鍍倉。