根據(jù)壓電效應造成的傳感器有()。 ①測力傳感器 ②壓力傳感器 ③加速度傳感器 ④位移傳感器
A.①②④ B.①②③ C.①②③④ D.②③④
A.表壓 B.絕壓+表壓 C.密封壓 D.A+B+C
硅壓力傳感器失效的形式有()。 ①參數(shù)漂移; ②絕緣降低; ③膜片劈裂; ④電磁干擾; ⑤芯體滲漏。
A.②③④⑤ B.①③④⑤ C.①②③⑤ D.①②③④⑤