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【簡答題】擴(kuò)散間生產(chǎn)流程及返工流程是什么?操作時(shí)應(yīng)注意哪些事項(xiàng)?
答案:
生產(chǎn)流程:開機(jī)→對(duì)硅片自檢→檢查石英舟→插片→上漿→運(yùn)行工藝→卸片→測(cè)方塊電阻→返工片和碎片處理→流程卡填寫
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【簡答題】磷源更換操作流程是什么?泄露應(yīng)該怎么處理?
答案:
源瓶更換的標(biāo)準(zhǔn)操作過程依次關(guān)閉進(jìn)氣閥門、出氣閥門,拔出連接管道,更換源瓶,連接管道,打開出氣閥門、進(jìn)氣閥門。液態(tài)源外溢了...
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【簡答題】簡述太陽能電池片制造PECVD的目的及原理?
答案:
目的:在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜-SiN膜。
P.ECVD技術(shù)原理:是利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣...
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