單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的真空泵選擇主要依據(jù)（）。

A.抽氣速率
B.極限真空度
C.耐腐蝕性
D.以上都是


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1.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的定期校準(zhǔn)周期通常為（）。

A.每天
B.每周
C.每月
D.每年

2.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕均勻性的關(guān)鍵在于（）。

A.優(yōu)化氣體分布
B.穩(wěn)定溫度和壓力
C.改進(jìn)掩膜設(shè)計(jì)
D.以上都是

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕過(guò)程中的刻蝕速率不穩(wěn)定可能是由于（）。

A.刻蝕氣體流量波動(dòng)
B.溫度不穩(wěn)定
C.壓力變化
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的操作培訓(xùn)重點(diǎn)在于（）。

A.設(shè)備原理
B.操作規(guī)程
C.安全注意事項(xiàng)
D.以上都是

5.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是提高刻蝕機(jī)生產(chǎn)效率的方法（）？

A.增加刻蝕腔數(shù)量
B.縮短刻蝕時(shí)間
C.降低刻蝕精度
D.優(yōu)化工藝流程