步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉速失控或停轉。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

應用在真空中的各式材料包括（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關于DC 電源性能重要性內容下列正確的選項是（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。