（）又稱“島式加工單元”。

工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

檢漏儀里標準漏孔的作用是（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？